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坩堝材質

有機材料/金屬

坩堝蓋

實際應用說明

(以不同的材料特性建議)

特質

SUS304

有機材料(熔融、升華)

蜂巢式+均熱板

溫度400° ~ 450°C

1.不易損壞，但容易變形

2.導熱性較差(需搭配均熱板)

3.坩堝本體與上蓋螺旋紋易卡住

Ti

有機材料(熔融、升華)

蜂巢式+均熱板

溫度400° ~ 450°C

1.硬度較佳，且保溫效果佳

2.熱傳導性差，故加熱線圈必須與Housing貼

合 ，才能達到較佳的控溫

石墨

有機材料(熔融、升華)、金屬

小開口搭配大開口

溫度500° ~ 1200°

1.易碎、不易清洗

2.有較佳的熱傳導，且保溫效能較好

3.可耐高溫

Inconel 625

CSF (抗氧化、抗腐蝕性能)

溫度300° ~ 700°

1.可抗腐蝕性

2.易變形、但清絜容易

Al2O3

有機材料(熔融、升華)

蜂巢式+均熱板

溫度300° ~ 700°

1.易變形

2.導熱性較佳 ，較適用于熔融材料)

3.材質較軟，材料附著后，不易清潔

PBN

有機材料(熔融、升華)、金屬

小開口搭配大開口

溫度500° ~ 1200°

1.易碎、不易清洗

2.有較佳的熱傳導

3.可耐高溫